دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ سه کاتده مدل DST3-A
DST3-A, یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ (کندوپاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد. این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF,DC قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی)، نیمه هادی و سرامیک ها می باشد.
DST3 با توجه به حالت قرار گرفتن کاتدهای آن دارای دو مدل می باشد:
DST3-A – کاتدهای با زاویه
مدل DST3-A با بکارگیری سه کاتد زاویه دار با نقطه کانونی مشترک، قادر به انجام لایه نشانی متمرکز و همزمان دو یا سه کاتد است و علاوه بر ساخت چند لایه ای ها امکان آلیاژ سازی را نیز فراهم می کند. قابلیت چرخش زیر لایه این سیستم باعث یکنواختی بسیار خوب لایه رشد داده شده می شود. همچنین بدلیل امکان زاویه دادن به زیر لایه نسبت به کاتدها می توان انواع لایه ها را به صورت ستونی رشد داد (Glad Sputtering).
DST3-S– کاتدهای خطی (یا مستقیم)
مدل DST3-S با دارا بودن سه کاتد با قطر دو اینچ که بدون زاویه کنار یکدیگر قرار گرفته اند، برای لایه نشانی بر روی تک نمونه های بزرگ با قطری حدود 20 سانتی متر و یا چندین قطعه با ابعاد کوچکتر در این محدوده مناسب می باشد. این دستگاه برای اطمینان از یکنواختی لایه در تمام سطح نمونه های بزرگ، مجهز به سه کاتد مگنترون گردیده است.
مشخصات دستگاه
- مجهز به پمپ توربو مولکولار خلاء بالا 90 l/s (آلمانی) و پمپ پشتیبان دیافراگمی (آلمانی)
- خلاء نهایی 8 × 10-5 torr
- فشار سنج فول رنج (آلمانی)
- سه عدد کاتد دو اینچی که با آب خنک می شوند
- قابلیت لایه نشانی نمونه های بزرگ (DST3-S)
- توانایی لایه نشانی همزمان از دو یا سه کاتد (Co-Sputtering) و آلیاژسازی (DST3-A)
- ضخامت سنج کریستال کوارتز با دقت اندازه گیری یک نانومتر شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانی
- صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
- نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه
- دو عدد MFC
- نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش و زاویه دادن
- مجهز به هیتر زیرلایه 500 درجه
- قابلیت اعمال ولتاژ بایاس به زیرلایه تا 350 ولت
- کنترل نرخ لایه نشانی برای هر کاتد به صورت مستقل به منظور رسیدن به ساختار دانه ظریف تر
- لایه نشانی محدوده وسیعی از فلزات (اکسیدی و غیراکسیدی)، سرامیک ها و دی الکتریک ها
- قابلیت لایه نشانی به صورت پیوسته بدون محدودیت زمانی
- یک سال گارانتی کامل
کاتدهای آبگرد
دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ (کند و پاش) مدل DST3-A با دارا بودن سه کاتد آبگرد این امکان را فراهم می آورد تا کاربر بدون محدودیت زمانی و به صورت پیوسته لایه نشانی انجام دهد، با توجه به وجود شاتر، در مدل DST3-A این امکان وجود دارد که لایه نشانی تنها از یک کاتد صورت گیرد و بدون نیاز به خارج شدن از خلأ امکان انتخاب کاتد مورد نظر برای لایه نشانی چند لایه ها در این دستگاه در نظر گرفته شده است.
محفظه خلاء شیشه ای عاری از هر گونه آلودگی
محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه ای از جنس پیرکس به قطر 300 mm و ارتفاع 200mm همراه با اورینگهای ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ دیافراگمی پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود.
صفحه نمایش رنگی
دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی 7 اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده این نرم افزار، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و ...) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به 300 لایه نشانی آخر را دارا می باشد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.
کاربردها
با توجه به این که دستگاه اسپاترینگ رومیزی DST3-A قادر به لایه نشانی محدوده وسیعی از مواد می باشد، حوزه کاربری وسیعی را نیز در بر می گیرد که از جمله آن ها می توان به موارد زیر اشاره کرد:
- ساخت انواع سنسورهای لایه نازک و سلولهای خورشیدی
- ساخت ادوات اپتیکی، نانو الکترونیک و میکروالکترونیک
- ساخت سنسورهای مغناطیسی لایه نازک
- GLAD Sputtering
- آماده سازی نمونه های میکروسکوپ الکترونی (SEM)
سایر ویژگی های دستگاه DST3
- منبع تغذیه با جریان 0 تا 1000 میلی آمپر
- منبع تغذیه RF با توان 300 وات به همراه مچینگ باکس
- تنظیم زمان و یا ضخامت فرایند لایه نشانی به صورت دستی و خودکار
- مجهز به نگهدارنده نمونه قابل چرخش که توانایی کج شدن در جهت کاتد ها را دارد
- دو عدد MFC برای کنترل فشار محفظه خلاء
- کنترل خودکار توان لایه نشانی به صورت مستقل از فشار
- کنترل خودکار دمای کاتدها در جهت بالا بردن طول عمر مگنت ها
- قابلیت ورود سریع داده ها با استفاده از کنترل لمسی و تمام خودکار
- رسم منحنی های فشار و ضخامت
- انتقال منحنی ها و داده های فرآیند لایه نشانی بوسیله ی USB به کامپیوتر
- گاز نیتروژن برای انجام عملیات vent
- برق ورودی: 220 V- 50 HZ- 16 A
- وزن همراه با راک حدود Kg 90
- ابعاد: قطر 50سانتی متر × عرض 65 سانتی متر × ارتفاع 60 سانتی متر
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی
دستگاه دارای هیتر تحت خلاء، شیشه یدک، کریستال کوارتز و تارگت های اسپاترینگ می باشد.
https://www.facebook.com/pvd.nsc.5/posts/125167652111624